基于ANSYS的直线电机驱动二维定位平台的设计与仿真研究

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对直线电机驱动的两维大范围、高速、精密二维定位平台进行了总体结构设计;然后用有限元分析软件ANsYs研究了该平台和其大跨度部件的静态特性与动态特性。仿真结果表明,精密定位平台和其部件的静态刚度比较大,固有频率比较高,抵抗外界干扰的能力较强,
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