切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
一种制备氧化钒薄膜的新工艺
一种制备氧化钒薄膜的新工艺
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wanshilong111
【摘 要】
:
采用两步法工艺,即先在衬底上溅射一层金属钒膜,再对其进行氧化的方法,在硅和氮化硅衬底上制备了高电阻温度系数的混合相VOx多晶薄膜.电学测试结果表明:厚度为50nm的氧化钒薄
【作 者】
:
王宏臣
易新建
黄光
肖静
陈四海
【机 构】
:
华中科技大学,华中科技大学,华中科技大学
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
2003年4期
【关键词】
:
红外探测器
氧化钒薄膜
离子束溅射淀积
热敏薄膜
IR detectors vanadium oxide thin film ion sputtering de
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
采用两步法工艺,即先在衬底上溅射一层金属钒膜,再对其进行氧化的方法,在硅和氮化硅衬底上制备了高电阻温度系数的混合相VOx多晶薄膜.电学测试结果表明:厚度为50nm的氧化钒薄膜的方块电阻和电阻温度系数(TCR)在室温时分别达到50kΩ和0.021K-1.
其他文献
《苗圃土壤精细筑床高效施药技术研究》试验效果喜人
中央级公益性科研院所基本科研业务费专项资金《苗圃土壤精细筑床高效施药技术研究》项目于2018年4月进行设备性能试验,项目负责人吴兆迁研究员带领团队人员前往亚布力林业局
期刊
高效施药技术
苗圃土壤
试验效果
亚布力林业局
科研院所
生长情况
苗木生长
项目负责人
图式理论与短信语篇建构
式理论在语篇的认知分析中有着广泛的应用,本文将利用图式理论分析短信这种特殊的语篇形式是如何构建的。
期刊
图式
语篇分析
短信语篇
贵州省山地旅游SWOT分析
本文主要对贵州发展山地旅游的优势、劣势、机遇和挑战进行分析,旨在为贵州山地旅游的合理开发和利用提供参考。
期刊
贵州省
山地旅游
SWOT分析
由OLED和复合光探测器构成的新型光耦合器
对以Al/Alq3/TPD/ITO/玻璃结构的有机/聚合物发光二极管(OLED)为发光器件,以光电二极管和双极晶体管构成的复合光探测器为光接收器件组成的光耦合器进行了实验研究.通过改变O
期刊
有机/聚合物发光器件
复合光探测器
光隔离器
organic/polymer light emitting diode integrated photo-det
试论信息化在生猪生产监测预警中的应用
畜牧信息化,是指为全面提高畜牧业经济运行效率、畜牧业劳动生产率、畜牧企业竞争力,在畜牧生产、管理、经营各领域不断推广和应用电脑、通信、网络等信息技术和其他相关智能技
期刊
生猪生产
生猪价格
畜牧生产
监测预警
轿车门窗框弯曲工艺与模具结构
以图示的车门框零件为例,介绍了成形工艺过程和一些关键的冲压模具。经过小批量生产证明,其工艺和模具具有可靠性高、实用性强和生产准备周期短等优点。
期刊
轿车
门框
窗框
弯曲
模具
中国家博会与国际木工展强强联手2018年9月于上海虹桥国际会展中心共同举行“中国(上海)国际家具生产设备及木工机械展览会”
中国对外贸易广州展览总公司与雅式展览服务有限公司正式宣布,自2018年起在中国(上海)国际家具博览会期间,共同举办“中国(上海)国际家具生产设备及木工机械展览会”,携手家具生产上
期刊
国际会展中心
家具生产设备
木工机械
展览会
中国
上海
雅式展览服务有限公司
国际家具博览会
当前自侦部门部分干警消极心态面面观
一 惧怕心态。有些干警错误地认为,教育整顿就是整人。因而变得畏首畏尾,唯恐办案办出毛病,办出错案挨批评、受处分,甚至怕失去铁饭碗。所以,宁愿挨批评也不想主动办案,宁愿
期刊
消极心态
教育整顿
县人民检察院
逆反心态
工作积极性
执法思想
河南省
检察机关
从优待警
物质利益
微机励磁系统在泵站工程中的应用
介绍了连云港市大中型排涝抽水站励磁系统的发展历程、使用中发现的问题以及各种励磁装置的优缺点,微机励磁系统在泵站工程中的应用是以后泵站工程的必然趋势.
期刊
微机
泵站
应用
一种新型结构全自动竹帘缝织机
介绍了新型结构全自动竹帘缝织机的结构组成及工作原理。生产结果表明,该设备结构简单,安全可靠,能够实现竹帘自动排料、传送、缝织、打结、剪裁等功能,生产效率高,竹帘产品
期刊
新型结构
竹帘缝织机
结构组成
new structurebamboo curtain knitting machine structure compositi
与本文相关的学术论文