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本文对微电子固体薄膜结构，以及影响薄膜电阻导电性和稳定性的因素进行了研究和分析。实验数据和电路应用实例表明：Ｃｒ－Ｓｉ薄膜电阻是一种良好的材料，它具有高电阻率，低温度漂移系数，高稳定性，无寄生效应高，高匹配精度等特性。
磁控溅射Cr—Si薄膜的工艺研究
【摘 要】
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本文对微电子固体薄膜结构，以及影响薄膜电阻导电性和稳定性的因素进行了研究和分析。实验数据和电路应用实例表明：Ｃｒ－Ｓｉ薄膜电阻是一种良好的材料，它具有高电阻率，低温度漂移系数，高稳
【机 构】
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电子工业部东北微电子研究所
【出 处】
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微处理机
【发表日期】
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1998年4期
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