【摘 要】
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据日经BP社报道,日矿金属日前宣布,该公司已在矶原工厂成功开发出了直径为450mm的搬运测试晶圆,将于2008年以后正式开始销售。此次开发的晶圆不是用于半导体制造,而是用于开
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据日经BP社报道,日矿金属日前宣布,该公司已在矶原工厂成功开发出了直径为450mm的搬运测试晶圆,将于2008年以后正式开始销售。此次开发的晶圆不是用于半导体制造,而是用于开发450mm晶圆的半导体制造装置和晶圆搬运装置。虽然并非单晶,但外形尺寸和研磨状态与实际晶圆非常相近。
According to Nikkei BP news agency, Nippon Mining and Metals recently announced that the company has successfully developed a 450mm-diameter handling test wafer at the Isohara plant and will officially begin shipping after 2008. This development of the wafer is not for semiconductor manufacturing, but for the development of 450mm wafer semiconductor manufacturing equipment and wafer handling equipment. Although not single crystal, but the size and grinding state and the actual wafer is very similar.
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