多弧离子沉积(Ti,Al)N薄膜的结构与形貌

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对在多弧离子镀膜机上采用Ti/Al机械复合靶沉积出(Ti,Al)N膜的组织形貌与结构进行了分析,结果表明,(Ti,Al)N膜具有(111)晶面的择优取向,仍保持着TiN的结构特征,但(Ti,Al)N晶面间距小于TiN的晶面间距.没有AlN相出现,这是TiN相优先于AlN相形成的缘故。(Ti,Al)N薄膜上分布有针孔和三种不同形貌液滴颗粒。
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