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运用微细加工方法研制新颖直径为２ｍｍ，速度可调的电磁型微电动机，并讨论了电磁型微电动机的驱动原理和制备方法。
直径为2mm电磁型微电动机的研究
【摘 要】
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运用微细加工方法研制新颖直径为２ｍｍ，速度可调的电磁型微电动机，并讨论了电磁型微电动机的驱动原理和制备方法。
【机 构】
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信息存储研究中心
【出 处】
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上海交通大学学报
【发表日期】
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1996年9期
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