【摘 要】
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设计了一种基于激光莫尔信号的超精密平面定位装置,该装置可实现高精度位置检测及X-Y-( 三自由度的全自动精密平面定位.激光莫尔信号传感器为相位相差180(的两组衍射光栅,构
【机 构】
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南京师范大学,东南大学,日本爱知工业大学情报工学科
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设计了一种基于激光莫尔信号的超精密平面定位装置,该装置可实现高精度位置检测及X-Y-( 三自由度的全自动精密平面定位.激光莫尔信号传感器为相位相差180(的两组衍射光栅,构成差动光栅技术,可有效提高位置检测信号灵敏度及定位精度.针对系统存在非线性,精确控制模型难以建立的缺陷,提出基于RBF神经网络的精密定位控制,其控制响应快、稳定性好、鲁棒性强,可有效改善控制质量,提高定位速度.实验结果表明,基于激光莫尔信号的精密定位装置可获得亚微米级的平面定位精度.
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