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<正> 为了发展GaAs材料的电子器件和集成电路,必须解决怎样在GaAs表面上生长高质量的自体氧化膜的问题。目前,很多人都在这方面进行研究。更多还原
闭管热生长GaAs自体氧化膜的研究
【摘 要】
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<正> 为了发展GaAs材料的电子器件和集成电路,必须解决怎样在GaAs表面上生长高质量的自体氧化膜的问题。目前,很多人都在这方面进行研究。更多还原
【机 构】
：
中国科学院半导体研究所,吉林大学
【出 处】
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稀有金属
【发表日期】
：
1989年1期
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