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5. Microstructure and Magnetic Properties of Sputtered Co5 Sm Films

Microstructure and Magnetic Properties of Sputtered Co5 Sm Films

来源 :Journal of Measurement Science and Instrumentation | 被引量 : 0次 | 上传用户：xxuhhe

【摘 要】

：

Co5Sm/Cr bilayer films were deposited on Si and glass slides by means of a Direct-Current(DC)magnetron sputtering system with substrate heating.Magnetic propert

【作 者】

：

马丽 甄聪棉 庞兆广 侯登录 

【机 构】

：

HebeiAdvancedThinFilmsLaboratory

【出 处】

：

Journal of Measurement Science and Instrumentation

【发表日期】

：

2011年4期

【关键词】

：

磁学性质 磁控溅射 电影 微观结构 玻璃基板 磁晶各向异性 钐 薄膜沉积 magnetic recording media   magnetron sputte 

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Co5Sm/Cr bilayer films were deposited on Si and glass slides by means of a Direct-Current(DC)magnetron sputtering system with substrate heating.Magnetic properties measurements show that the sample with glass substrate has a comparatively large coercivity

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