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波前功率谱密度(PSD)被用于评价ICF激光驱动器光学元件在中频区域的波前误差。目前主要采用大口径相移干涉仪检测ICF光学元件的波前畸变，通过傅里叶变换获得波前的PSD分布。相移干涉仪在较高空间频率分量的测量上存在失真效应，因此需对干涉仪的空间频率传递函数进行校准，采用位相比较法测量大口径相移干涉仪的系统传递函数。为此，利用衍射光学元件的制造工艺，设计、制作了标准的透射和反射位相元件，比较理论计算值与实测PSD值，分别获得了大口径相移干涉仪透射、反射测量模式的系统传递函数。