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扩散硅压阻式传感器温度漂移性能及补偿算法研究
扩散硅压阻式传感器温度漂移性能及补偿算法研究
来源 :2009年全国压力计量测试技术交流年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:namezhu
【摘 要】
:
介绍了影响扩散硅压力传感器性能的主要因素——零点漂移和灵敏度漂移,详细介绍了零点漂移和灵敏度漂移的两种补偿方法,并通过试验验证了两种补偿方法。
【作 者】
:
王丽
彭轶
赵静
李开
【机 构】
:
中航工业北京长城计量测试技术研究所,北京100095
【出 处】
:
2009年全国压力计量测试技术交流年会
【发表日期】
:
2009年9期
【关键词】
:
扩散硅压力传感器
温度漂移性能
试验验正
补偿算法
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介绍了影响扩散硅压力传感器性能的主要因素——零点漂移和灵敏度漂移,详细介绍了零点漂移和灵敏度漂移的两种补偿方法,并通过试验验证了两种补偿方法。
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