双腔薄膜阀压电泵的实验研究

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实验研究了理论所不能解释的多种因素对双腔压电泵输出流量的影响规律.选取了一种高效的橡胶薄膜阀片,设计并制作了具有较高输出能力的双腔泵样机.120 V交流信号下,双腔串联压电泵最佳工作频率为180 Hz,输出参数为520 ml/min、22 kPa;双腔并联压电泵最佳工作频率为420 Hz,输出参数为980 ml/min、28 kPa.通过实验确定了双腔压电泵的最佳腔体高度及双腔串联、并联压电泵压电片的最佳驱动方式.
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