电子化学品系列化合物

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正型感光性树脂组合物及图案形成方法本发明提供了能够用一般浓度的氢氧化四甲铵水溶液显像,灵敏度高,析像度优良,且耐热性、平坦化程度、透明度和低吸水性等特性良好的正型感光性树脂组合物。 The present invention provides a positive photosensitive resin composition and a pattern forming method which are capable of developing with an aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide in a normal concentration, have high sensitivity and excellent resolution, and are excellent in heat resistance, flatness, transparency and low water absorption The positive photosensitive resin composition which is excellent in characteristics, such as a sex.
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