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技术领域本发明属于矿物材料领域,以天然优质粉石英矿物为基本原料,采用溶胶一凝胶技术制备高纯球形纳米非晶态硅微粉的方法,制备高纯球形纳米非晶态硅微粉,该产品可用作大规模、超大规模集成电路封装的高品质填料。
一种用天然粉石英制备高纯球形纳米非晶态硅微粉的方法
【摘 要】
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技术领域本发明属于矿物材料领域,以天然优质粉石英矿物为基本原料,采用溶胶一凝胶技术制备高纯球形纳米非晶态硅微粉的方法,制备高纯球形纳米非晶态硅微粉,该产品可用作大规
【出 处】
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企业科技与发展
【发表日期】
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2009年12期
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