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对液相沉积法制备 TiO2薄膜的成膜机理进行了探讨,根据成膜机理建立了数学模型,用 Excel规划求解与 VBA编程相结合对动力学常数进行了求解,所得到的动力学参数可靠,模型计算结果与实验结果吻合良好.
液相沉积法制备TiO2薄膜的动力学研究
【摘 要】
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对液相沉积法制备 TiO2薄膜的成膜机理进行了探讨,根据成膜机理建立了数学模型,用 Excel规划求解与 VBA编程相结合对动力学常数进行了求解,所得到的动力学参数可靠,模型计算
【机 构】
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安徽工业大学化工与环境学院
【出 处】
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安徽工业大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2003年3期
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