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按《半导体分立器件试验方法》,电子元器件的细检漏可采用氦质谱检漏的方式进行检漏,本文就氦质谱检漏的压氦方式方法进行研究,对细检漏设备的检漏平台及检漏方式进行优化和改造,以获得准确的检测结果。
氦检漏压氦方法的优化研究
【摘 要】
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按《半导体分立器件试验方法》,电子元器件的细检漏可采用氦质谱检漏的方式进行检漏,本文就氦质谱检漏的压氦方式方法进行研究,对细检漏设备的检漏平台及检漏方式进行优化和
【机 构】
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国营芜湖机械厂
【出 处】
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中国航班
【发表日期】
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2019年24期
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