【摘 要】
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基于光纤面板传像原理,提出了一种新型光纤面板的制作方法.采用光辅助电化学方法制备了硅微通道阵列,并将其作为光纤面板的骨架结构,通过氧化工艺在通道内壁制备二氧化硅层作为光纤包层,内部填充高折射率玻璃作为纤芯,制备出一种新结构的传像器件.其理论数值孔径为1.37,经初步测试,其分辨率可达到57 lp/mm.利用此方法制备的光纤面板不会有光串扰问题,可完全避免刀口响应,增加对比度.此方法能有效提高分辨率,有望成为制造高分辨率、高质量传像器件的新方法.
【机 构】
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长春理工大学理学院,长春130022;中国电子科技集团公司第五十五研究所,南京210016
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基于光纤面板传像原理,提出了一种新型光纤面板的制作方法.采用光辅助电化学方法制备了硅微通道阵列,并将其作为光纤面板的骨架结构,通过氧化工艺在通道内壁制备二氧化硅层作为光纤包层,内部填充高折射率玻璃作为纤芯,制备出一种新结构的传像器件.其理论数值孔径为1.37,经初步测试,其分辨率可达到57 lp/mm.利用此方法制备的光纤面板不会有光串扰问题,可完全避免刀口响应,增加对比度.此方法能有效提高分辨率,有望成为制造高分辨率、高质量传像器件的新方法.
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