集成探头型压电式加速度传感器研究

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:a4198673
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在动态力学测量中,常利用石英的压电效应,取其体小质轻,响应快的特点,制成压电电荷类力学传感器.惜其输出阻抗甚高(10~(14)Ω),不利远程传输.为此,多配用深负反馈电荷放大器为阻抗变换电路,以便与读出设备接连.但在探头与放大器之间仍需使用价高的专用电缆连接,且仍免不了外界环境的干扰.现采用常见的,把阻抗变换器与力敏元件集成在一起做成集成探头(ICP),这样既便于屏蔽,也可选取通用的电缆传输. 经使用效果颇佳. In the dynamic mechanical measurement, the piezoelectric effect of quartz is often used to obtain the piezoelectric charge-type mechanics sensor because of its small and light weight and fast response.However, its output impedance is very high (10 ~ (14) Ω) Unfavorable remote transmission.To this end, with multi-use deep negative feedback charge amplifier impedance transformation circuit, in order to connect with the readout device.But in the probe and amplifier still need to use expensive dedicated cable connection, and still inevitably the external environment Interference. Now use common, the impedance converter and force sensitive components integrated probe (ICP), so that both easy to shield, but also choose a common cable transmission. By the use of quite good.
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