【摘 要】
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评述微系统的 3维成形、空间运动机构制作和微作业技术。提出了微系统的定义 ,指出了它区别于宏系统、微电子系统的特点及这些特点对上述 3个技术的影响。评述了 L IGA、DRIE
【机 构】
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南京理工大学机械学院,南京理工大学制造工程学院
【基金项目】
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国家 8 6 3高技术研究发展计划资助项目! (86 3-5 11-943-0 1686 3-5 11-96 0 8-0 0 7);江苏省社会发展资助项目! (BS970 83)
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评述微系统的 3维成形、空间运动机构制作和微作业技术。提出了微系统的定义 ,指出了它区别于宏系统、微电子系统的特点及这些特点对上述 3个技术的影响。评述了 L IGA、DRIE、EDM、微浮雕、折叠法、RPM 6种 3维成形法 ,并指出如何组合它们以适应微光学系统、微流体系统、微机构等商品化的配套需要。评述了微运动副的制造方法、带弹性变形件及柔性变形件的微机构设计原理和制造方法 ,并对它们的选择原则提出建议。评述了微物体在流体中的作业、微注射、狭窄空间中的作业、工作台—机器人系统上的微作业。提出了值得研究的若干课题群。
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