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高精度的激光干涉测量系统是精密位移测量的决定性因素。本文介绍一种自行研制的双频激光测量系统。
双频激光测量系统在超精密机床中的应用
【摘 要】
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高精度的激光干涉测量系统是精密位移测量的决定性因素。本文介绍一种自行研制的双频激光测量系统。
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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航空工艺技术
【发表日期】
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1998年1期
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