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化学气相沉积被用来在加热的底物上通过分解一些氧化物的前体而在该底物表面上形成氧化铋、氧化锶和氧化钽的薄膜。氧化铋的前体是一种铋的络合物，它包含至少一个烷氧基并且可在低于450℃的温度条件下分解和沉积。用低温CVD方法获得的氧化铋、锶、钽的薄膜主要是徘铁电性的薄膜，但可通过后续的加热过程而转化成铁电性薄膜。