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  5. Nanostructure of Rutile TiO<sub>2</sub>Thin Films Prepared on Unheated S

Nanostructure of Rutile TiO<sub>2</sub>Thin Films Prepared on Unheated S

来源 :材料科学与应用期刊(英文) | 被引量 : 0次 | 上传用户：madiawang
【摘 要】
：
In this work, structural and optical properties of the TiO2 films deposited on unheated substrates by dual cathode dc unbalanced magnetron sputtering at long su
【作 者】
：
Wichai Kongsri Supanee Limsuwa 
【机 构】
：
DepartmentofPhysics,DepartmentofPhysics
【出 处】
：
材料科学与应用期刊(英文)
【发表日期】
：
2019年3期
【关键词】
：
TiO2 MAGNETRON SPUTTERING RUTILE TiO2 Magnetron Sputtering Rutile 
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In this work, structural and optical properties of the TiO2 films deposited on unheated substrates by dual cathode dc unbalanced magnetron sputtering at long substrate-target distance (ds-t) were studied. Titanium dioxide (TiO2) thin films were deposited
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