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考虑纳米尺度互连线的散射效应，提出了一种改进的时序分析方法．首先，考虑互连线宽度和厚度的影响，提出了一个简单的散射效应的解析模型．然后，利用这个模型和SS2M得到了过渡时间的统计表达式,实验结果表明，当考虑散射效应后，互连线的延时和过渡时间将进一步增加．同时，提出的统计SS2M模型与SPICE蒙特卡罗分析结果比较，均值的平均误差在4．16％以内，而方差的平均误差在3．06％以内.