【摘 要】
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用电离Ｎ＿２产生的离子束作为外延生长氮化物的Ｎ源已获得成功，在ＧａＡｓ（１００）衬底上长出了具有立方结晶的ＧａＮ薄膜，其（２００）ｘ射线衍射峰宽仅２３’。并用高分辨率电子能量损失谱测到立方ＧａＮ的表面光学声子出现在损失
【机 构】
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复旦大学应用表面物理国家重点实验室和李政道物理学综合实验室，复旦大学分析测试中心
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用电离Ｎ＿２产生的离子束作为外延生长氮化物的Ｎ源已获得成功，在ＧａＡｓ（１００）衬底上长出了具有立方结晶的ＧａＮ薄膜，其（２００）ｘ射线衍射峰宽仅２３’。并用高分辨率电子能量损失谱测到立方ＧａＮ的表面光学声子出现在损失能量为８２ｍｅＶ处．
The ion beam generated by ionized N 2 has been successfully used as the N source for the epitaxial growth of nitrides. On the GaAs (100) substrate, a GaN film with cubic crystals is grown. The (200) x-ray diffraction peak width is only 23 ’ . The surface optical phonons of cubic GaN were detected at a loss energy of 82meV with high-resolution electron energy loss spectroscopy.
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