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SOI功率器件的新进展
SOI功率器件的新进展
来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ldkkkkk54
【摘 要】
:
回顾了应用于SOI功率集成电路的SOI功率器件的发展背影,论述了SOI功率器件的开发现状,以及作为SOI功率器件基础的SOI材料制备技术和耐压结构研究的最新进展,同时指出了在SOI功率器件研究中需要解决
【作 者】
:
李文宏
罗晋生
【机 构】
:
西安交通大学微电子所
【出 处】
:
固体电子学研究与进展
【发表日期】
:
2000年2期
【关键词】
:
硅-绝缘体
功率器件
功率集成电路
SOI
powerdevice
powerIC
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回顾了应用于SOI功率集成电路的SOI功率器件的发展背影,论述了SOI功率器件的开发现状,以及作为SOI功率器件基础的SOI材料制备技术和耐压结构研究的最新进展,同时指出了在SOI功率器件研究中需要解决的问题,以及今后的研究发展重点。
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