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介绍了一种比较成熟的矩形微米流道（微槽道）加工工艺，利用厚胶光刻工艺在硅片上制备胶模板，进而在该模板上用高分子聚合物PDMS（Polydimethylsiloxane，聚二甲基硅氧烷）制作了微米量级的微槽道（高、宽范围20～100μm），对制备的微槽道的几何精确度进行了20×100倍放大显微观测，对其流量特性进行了实验测定．实验结果与泊肃叶理论公式（NS方程的管流表达式）相对比，可以看到在微米量级的矩形微流道中，泊肃叶公式仍然适用．