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制备条件对SnO2/Si性质的影响
制备条件对SnO2/Si性质的影响
来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhoumingjiang123
【摘 要】
:
研究了沉积温度,SnCl4溶液的浓度,掺Pd等对SnO2/Si光电压的影响,测量了SnO2/Si的光电压谱,得出最佳的制备条件,进行了有关计算和分析。
【作 者】
:
沈凯华
朱文章
王余美
蔡玉霜
【机 构】
:
厦门大学物理系,厦门集美航海学院
【出 处】
:
固体电子学研究与进展
【发表日期】
:
1995年3期
【关键词】
:
沉积条件
化学气相沉积
光伏特性
硅
二氧化锡
Deposition Conditions
SnO_2/Si
Chemical Vapor Depositi
【基金项目】
:
国家自然科学基金,福建省自然科学基金
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研究了沉积温度,SnCl4溶液的浓度,掺Pd等对SnO2/Si光电压的影响,测量了SnO2/Si的光电压谱,得出最佳的制备条件,进行了有关计算和分析。
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