【摘 要】
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物理气相沉积（PVD）已得到广泛的工业应用．而双重处理、低温沉积TiN和Ti2N等新的涂层技术目前正在研究中，其应用领域人们尚未完全了解。本文则对这些涂层的基本工艺、主要性能和应
【机 构】
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西北有色金属研究院!西安，710016,西北有色金属研究院!西安，710016
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物理气相沉积（PVD）已得到广泛的工业应用．而双重处理、低温沉积TiN和Ti2N等新的涂层技术目前正在研究中，其应用领域人们尚未完全了解。本文则对这些涂层的基本工艺、主要性能和应用前景作一简要介绍。
Physical vapor deposition (PVD) has been widely used in industry. However, new coating technologies such as dual treatment, low temperature deposition of TiN and Ti2N are currently under study, and their applications are not yet fully understood. This article gives a brief introduction of the basic process, the main performance and application prospect of these coatings.
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