【摘 要】
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微小尺寸的测量多采用夫琅和费衍射法测量，因为其衍射暗纹间距与被测尺寸之间具有简单的线性关系，实用中，夫琅和费衍射占用空间很大，而且衍射象与传感器尺寸很难匹配，通过对菲尔衍
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微小尺寸的测量多采用夫琅和费衍射法测量，因为其衍射暗纹间距与被测尺寸之间具有简单的线性关系，实用中，夫琅和费衍射占用空间很大，而且衍射象与传感器尺寸很难匹配，通过对菲尔衍射和夫琅和费衍射光强分布的深入研究，发现二者暗纹分布是相同的，本项研究将衍射测量扩展到菲涅尔衍射区，不但可以扩展测量范围，还可以通过扩大所接受衍射谱级次的方法，提高测量精度，具有较高的实用价值，理论上也有一定突破。
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