高压BICMOS电路中LDMOS的工艺开发

来源 :功能材料与器件学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:slrjlc2009
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双RESURF技术的LDMOS具有高耐压、大电流、导通电阻低的特点,通过开发与BICMOS工艺相兼容的相关工艺技术,可以使超高压开关电源电路BL8723得以成功设计,该产品的主要参数与国外同类产品相当。 Dual RESURF technology LDMOS with high voltage, high current, low on-resistance characteristics, through the development and BICMOS technology compatible process technology, can make the ultra high voltage switching power supply circuit BL8723 successfully designed, the main parameters of the product Similar foreign products.
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