【摘 要】
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表面粗糙度是光学元件表面质量的重要评价指标之一。传统的粗糙度检测方法大多采用离线方法,无法实现在线表征。为此讨论了一种基于声发射检测技术的表面粗糙度监测方法,利用
【机 构】
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苏州大学轨道交通学院,苏州大学光电信息科学与工程学院,苏州大学机电工程学院
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(51705349)
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表面粗糙度是光学元件表面质量的重要评价指标之一。传统的粗糙度检测方法大多采用离线方法,无法实现在线表征。为此讨论了一种基于声发射检测技术的表面粗糙度监测方法,利用改进的表面粗糙度检测装置,采集不同粗糙度下声发射信号;由于传统方法存在一定的局限性,因此提出了基于小波分解系数有效值统计特征的表面粗糙度监测方法,通过对摩擦抛光的声发射信号进行特征提取,来辨识粗糙度。研究结果表明,利用该方法所提取出的特征可以对表面粗糙度进行有效区分,验证了其是光学元件表面粗糙度声发射监测的有效方法。
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