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面对持续发展的巨大市场，半导体制造设备厂商为提升制造设备性能，并提高半导体制造生产率，开始采用MEI和SynqNet术，成功完成了革命性的机器人控制EFEM核心部分的设计。
下一代半导体OEM的运动控制系统设计
【摘 要】
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面对持续发展的巨大市场，半导体制造设备厂商为提升制造设备性能，并提高半导体制造生产率，开始采用MEI和SynqNet术，成功完成了革命性的机器人控制EFEM核心部分的设计。
【机 构】
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美国DanaherMotion公司
【出 处】
：
现代制造
【发表日期】
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2005年21期
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