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用蒙特卡罗方法模拟能量为２７ｋｅＶＡｒ＾＋轰击Ａｇ和Ｃｄ单元素靶的力学运动，以研究级联碰撞产生的溅射原子的空间分布情况，对计算结果进行适当的数学处理，以得出微分溅射产额角分布，计算结果和实验值作了比较，并讨论了两种单元素靶的微分产额角分布。
蒙特卡罗模拟单元素靶的溅射产额角分布
【摘 要】
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用蒙特卡罗方法模拟能量为２７ｋｅＶＡｒ＾＋轰击Ａｇ和Ｃｄ单元素靶的力学运动，以研究级联碰撞产生的溅射原子的空间分布情况，对计算结果进行适当的数学处理，以得出微分溅射产额角分布，计算结果和实验值作
【机 构】
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上海大学射线应用研究所,中科院上海冶金研究所
【出 处】
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上海大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1996年1期
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