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本文介绍了硅片线切割后硅片的清洗去胶工艺以及全自动硅片预清洗机的概况、主要技术指标、工作原理和结构设计.并通过实验总结出该设备的清洗效果.
硅片线切割后清洗去胶机研究
【摘 要】
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本文介绍了硅片线切割后硅片的清洗去胶工艺以及全自动硅片预清洗机的概况、主要技术指标、工作原理和结构设计.并通过实验总结出该设备的清洗效果.
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二研究所
【出 处】
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中国科技纵横
【发表日期】
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2004年期
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