【摘 要】
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以钛酸锶钡和稀土氧化物粉末靶为靶材,用离子束溅射法在MgO（100）和Si（100）基片上组合制备了不同掺杂浓度的Ba0.6Sr0.4TiO3∶Re（BST∶Re）薄膜样品阵列.沉积得到的多层无定形薄膜经低
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所,中国科学院研究生院
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以钛酸锶钡和稀土氧化物粉末靶为靶材,用离子束溅射法在MgO（100）和Si（100）基片上组合制备了不同掺杂浓度的Ba0.6Sr0.4TiO3∶Re（BST∶Re）薄膜样品阵列.沉积得到的多层无定形薄膜经低温扩散、高温晶化,形成BST∶Re多晶薄膜.以扫描近场微波显微镜测定BST∶Re/MgO（Re=Er,Eu,Pr/Al）样品的介电常数,研究掺杂种类及掺杂浓度对BST薄膜介电常数的影响.结果表明,稀土离子的适量掺杂使BST薄膜介电常数有所提高,其中,Er3＋和Eu^3＋的最佳掺杂浓度分别为4.5%及5.
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