【摘 要】
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为获得薄膜金属玻璃在可见-近红外波段的光学常数,采用真空磁控溅射技术在Si基底上制备Zr基(ZrCuNiA(l 64.13∶15.75∶10.12∶10%at))薄膜金属玻璃.使用椭圆偏振光谱仪测量了
【基金项目】
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国家自然科学基金(No.61675104)
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为获得薄膜金属玻璃在可见-近红外波段的光学常数,采用真空磁控溅射技术在Si基底上制备Zr基(ZrCuNiA(l 64.13∶15.75∶10.12∶10%at))薄膜金属玻璃.使用椭圆偏振光谱仪测量了样品在三个不同入射角的椭偏参数,并用Drude-Lorentz双振子模型对测出的椭偏参数进行拟合,得到薄膜在可见-近红外波段的光学常数与膜厚.用掠入射X射线反射法进一步测量样品的膜厚以验证椭圆偏振光谱仪测量结果的可靠性.结果表明,两种方法测出的样品膜厚一致,Drude-Lorentz双振子模型很好地描述了Zr
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