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碲氧溅射薄膜的光学性质
碲氧溅射薄膜的光学性质
来源 :无机材料学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jingjing2011
【摘 要】
:
碲氧薄膜是很有希望的可擦写光盘介质材料。本文用射频溅射技术制备碲氧系统的薄膜。测定热处理前后薄膜的光学特性(光透过率、反射率、折射指数、光吸收系数和光能隙)和 X
【作 者】
:
陆家福
俞大渨
【机 构】
:
中国科学院上海硅酸盐研究所,中国科学院上海硅酸盐研究所
【出 处】
:
无机材料学报
【发表日期】
:
1990年2期
【关键词】
:
薄膜
碲氧薄膜
可擦写光盘
介质
Thin film
Te-O thin films
Reversibie optical recording media
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碲氧薄膜是很有希望的可擦写光盘介质材料。本文用射频溅射技术制备碲氧系统的薄膜。测定热处理前后薄膜的光学特性(光透过率、反射率、折射指数、光吸收系数和光能隙)和 X 射线衍射特性,并研究了这些性能与靶材的组份关系,还测定了这些薄膜激光喇曼光谱,并讨论它们的结构特征。
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