【摘 要】
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采用静电喷射法,用一个喷头喷洒四乙氧基硅烷(TEOS)与乙醇(EtOH)的混合溶液[n(TEOS)∶n(EtOH)=1.00∶19.00],另一个喷头喷洒乙醇、去离子水以及氨水(NH3?H2O)的混合溶液[n(Et
【基金项目】
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国家自然科学基金(61627802);江苏省“双创”计划资助项目
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采用静电喷射法,用一个喷头喷洒四乙氧基硅烷(TEOS)与乙醇(EtOH)的混合溶液[n(TEOS)∶n(EtOH)=1.00∶19.00],另一个喷头喷洒乙醇、去离子水以及氨水(NH3?H2O)的混合溶液[n(EtOH)∶n(H2O)∶n(NH3?H2O)=19.00∶0.90∶1.64],在溶液流速为60μL/min,喷头与基底之间的距离为10 cm,电压为12 kV的条件下喷洒1 min,在玻璃基底表面反应形成了光滑、致密的二氧化硅薄膜。采用扫描电镜与原子力显微镜对所得薄膜进行了表征。相比于使用单一喷
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