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采用磁控溅射的方法,在玻璃基片上制作出SnO2-Cu-SnO2-Cu-SnO2的5层式多层复合薄膜.并且在常温下使用分光光度计检测出,当它接触到酒精和丙酮气氛的情况下,其反射率在可见光范围的某些波段有变化,气敏特性与纯SnO:薄膜的相似,同时具有更佳的反应效果.
掺铜SnJO2薄膜的光学气敏特性
【摘 要】
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采用磁控溅射的方法,在玻璃基片上制作出SnO2-Cu-SnO2-Cu-SnO2的5层式多层复合薄膜.并且在常温下使用分光光度计检测出,当它接触到酒精和丙酮气氛的情况下,其反射率在可见光
【机 构】
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华南理工大学物理科学与技术学院
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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2004年期
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