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一种用于蒸发高熔点材料的微型电子束蒸发枪的研制
一种用于蒸发高熔点材料的微型电子束蒸发枪的研制
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chunguangdong
【摘 要】
:
在半导体器件制造,冶金及表面物理研究领域中,越来越多地要涉及超薄超纯的高熔点材料薄膜的制备,本文对我们研制的一种可蒸发难熔材料的微型电子束蒸发枪作一简要的描述。
【作 者】
:
缪鹏
严亚平
【机 构】
:
电子部第48研究所,电子部第48研究所长沙410111,长沙410111
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1993年4期
【关键词】
:
蒸发
高熔点材料
电子束蒸发枪
微型
EB evaporation
high melting point materials
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在半导体器件制造,冶金及表面物理研究领域中,越来越多地要涉及超薄超纯的高熔点材料薄膜的制备,本文对我们研制的一种可蒸发难熔材料的微型电子束蒸发枪作一简要的描述。
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