论文部分内容阅读
研制了一台高性能双极性脉冲非平衡磁控溅射（MS）电源。该电源以FPGA为控制系统核心，采用交变脉冲单元实现双极性脉冲输出，并针对脉冲条件下的等离子体负载特性及MS工艺需求，设计了负载匹配电路、多级电弧管理策略和数字脉冲复合调制（DPCM）策略。搭建一台10kW样机并进行了测试，结果表明该电源具备多变量脉冲输出特性及良好的电弧管理能力，为MS工艺的研究与探索提供了重要的技术支撑。