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LIGA工艺基础及其发展趋势
LIGA工艺基础及其发展趋势
来源 :机电工程技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:iceberg4ever
【摘 要】
:
本文主要阐述了LIGA技术的工艺过程,包括X射线深层光刻、微电铸和微复制工艺。对LIGA重点工序进行了总结并阐明其工艺要点。介绍了在LIGA技术基础上发展起来的准LIGA工艺技术
【作 者】
:
吴广峰
胡鸿胜
朱文坚
【机 构】
:
华南理工大学机械工程学院
【出 处】
:
机电工程技术
【发表日期】
:
2007年12期
【关键词】
:
LIGA
X射线深层光刻
微电铸工艺
微复制工艺
准LIGA技术
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本文主要阐述了LIGA技术的工艺过程,包括X射线深层光刻、微电铸和微复制工艺。对LIGA重点工序进行了总结并阐明其工艺要点。介绍了在LIGA技术基础上发展起来的准LIGA工艺技术和LIGA技术的发展的趋势。
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