【摘 要】
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为提高工厂自动化程度,节省人力,对TFT-LCD彩膜缺陷检出和修补智能化进行了研究。通过AOI&Mura检查设备自动判定智能化[6~7],Inline设备自动分片智能化,Repair设备自动修补智
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为提高工厂自动化程度,节省人力,对TFT-LCD彩膜缺陷检出和修补智能化进行了研究。通过AOI&Mura检查设备自动判定智能化[6~7],Inline设备自动分片智能化,Repair设备自动修补智能化,三大智能化要素,实现设备自动判定,基板自动分级运营。以此为基础,探究未来新型智能化彩膜生产线设计,通过双通道设计,实现Online模式自动修补缺陷,微观宏观检测一体化,继而达到简化运营流程,异常快速发现,节约设备成本,提高运营效率,释放产能,提高Tact Time,人员优化和良率提升等目的。
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