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主要介绍了一种全新的设计方法，在标准的EDA设计环境里、采用可重复使用的MEMS设计库单元，使设计者能够对MEMS产品的工艺可行性作分析。这种设计方法是MEMS开发单位采用“面向加工的设计方法”的重要基础。
Architect^TM——MEMS系统级仿真及工艺分析工具
【摘 要】
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主要介绍了一种全新的设计方法，在标准的EDA设计环境里、采用可重复使用的MEMS设计库单元，使设计者能够对MEMS产品的工艺可行性作分析。这种设计方法是MEMS开发单位采用“面向
【机 构】
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美国Coventor公司,美国IMAG公司
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2004年4期
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