【摘 要】
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研究了高压SOI-LDMOS器件在引入P-sink结构改善电安全工作区（E-SOA）后I-V特性曲线呈现的驼峰现象（hump）。首先将驼峰现象出现后器件的源端总电流分成电子电流与空穴电流单独分析,
【机 构】
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东南大学国家专用集成电路系统工程技术研究中心
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研究了高压SOI-LDMOS器件在引入P-sink结构改善电安全工作区（E-SOA）后I-V特性曲线呈现的驼峰现象（hump）。首先将驼峰现象出现后器件的源端总电流分成电子电流与空穴电流单独分析,确定高栅压下电子电流阶梯上升是驼峰现象产生的表面原因,进而通过仿真分析出Kirk效应导致的空穴电流在表面漂移区中电导调制是驼峰现象产生的根本原因。最后,根据对驼峰现象的分析,设计出新器件结构成功消除了驼峰现象,为今后不同类型LDMOS器件改善I-V曲线驼峰现象提供了理论指导。
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