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采用电弧离子镀技术在不锈钢基体表面制备了CrNx薄膜，并采用场发射扫描电镜、X射线衍射仪、显微硬度仪、球一盘式摩擦磨损试验机等手段对在不同偏压下沉积的CrNx，薄膜的表面形貌、相结构、显微硬度和摩擦学性能进行考察。结果表明：随着偏压的增加，CrNx薄膜沉积率下降，厚度降低，CrNx薄膜表面颗粒逐渐变少，表面粗糙度降低，结晶度增大，晶粒尺寸增加；CrNx薄膜由Cr2N相和CrN相组成，薄膜的择优取向发生较大变化。当偏压为-100V时，CrNx薄膜的表面结构最致密，硬度最高，抗磨损性能最强。