【摘 要】
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采用波长为1064 nm的超短脉冲激光(脉宽10 ps)作为成丝激发源,引导自聚焦效应在蓝宝石内部产生突破瑞利长度限制的成丝线迹,利用成丝区域相变而造成材料不同区域间的晶相差异
【机 构】
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北京工业大学激光工程研究院,曼彻斯特大学激光加工研究中心,
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采用波长为1064 nm的超短脉冲激光(脉宽10 ps)作为成丝激发源,引导自聚焦效应在蓝宝石内部产生突破瑞利长度限制的成丝线迹,利用成丝区域相变而造成材料不同区域间的晶相差异,辅以化学腐蚀,获得了切面粗糙度为800 nm的高精蓝宝石切割件,技术可实现自由路径切割。研究分析了皮秒激光成丝特征、技术实现的工艺条件及其中的加工机制,确定了皮秒激光在蓝宝石内自聚焦阈值功率为2.78×106W,探究了激光峰值功率,聚焦位置以及单点辐照脉冲数量对皮秒激光在蓝宝石内部成丝起始位置和切割质量的影响规律,获得了实现蓝宝石高精切缝的优化工艺参数。
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