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用电子束蒸发方法在抛光玻璃衬底上分别制备了Ｘ射线激光用的稀土元素Ｎｄ，Ｄｙ，Ｅｒ、Ｙｂ薄靶。用石英昌片作为陪片，通过测量昌振频率的方法研究了薄膜靶在真空、干燥空气潮湿空气等不同环境中不同阶段的氧化层增长过程。发现除Ｙｂ薄膜在淀积结束后的干燥空气和潮湿空气环境中的氧化过程遵循倒对数规律之外，民有的氧化过程均可用对数规律很好地进行拟合。淀积结束后充入大气时，薄膜表面的快速氧化过程仅为数分钟。在相同的环