大功率CO2激光腔镜的研制

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本文讨论了大功率CO2激光器腔镜基片、膜料和膜系的选择,给出了常用膜料可构成的λ/4膜系反射率,指出了一种在输出镜上获得任意中间反射率的方法,介绍了膜层制作工艺。应用结果表明,以Ag代Au的高反射膜系不仅有着优异的反射率,而且也具有良好的稳定性和牢固度;高反射的硅基尾镜和透射率匹配良好的输出镜能明显提高激光器的功率和效率。
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