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叙述了Sol-Gel法制备SiO2膜的原理以及工艺;举例说明了近些年来SiO2膜的制备进展,讨论了SiO2膜制备过程的影响因素;进而指出了采用Sol-Gel制备SiO2膜存在的问题.为SiO2膜的制备提供参考.
Sol-Gel法制备SiO2膜的研究进展
【摘 要】
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叙述了Sol-Gel法制备SiO2膜的原理以及工艺;举例说明了近些年来SiO2膜的制备进展,讨论了SiO2膜制备过程的影响因素;进而指出了采用Sol-Gel制备SiO2膜存在的问题.为SiO2膜的制
【机 构】
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辽宁石油化工大学
【出 处】
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辽宁化工
【发表日期】
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2003年12期
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